技術(shù) || 反滲透“膜法”加持 助力推動(dòng)超純水技術(shù)發(fā)展
日期：2022-01-12
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電路產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的核心產(chǎn)業(yè)，集成電路設(shè)計(jì)、制造與封裝測(cè)試是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的三大支柱。微電子技術(shù)是集成電路特別是超大規(guī)模集成電路發(fā)展起來(lái)的一種新興技術(shù)。其發(fā)展的理論基礎(chǔ)是19世紀(jì)末到20世紀(jì)30年代期間建立起來(lái)的現(xiàn)代物理學(xué)。微電子技術(shù)包括系統(tǒng)電路設(shè)計(jì)、器件物理、工藝技術(shù)、材料制備、自動(dòng)化測(cè)試和封裝、組裝等一系列專(zhuān)業(yè)技術(shù)，微電子技術(shù)是微電子學(xué)中各種工藝技術(shù)的總和。微電子元件在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)用到很多清洗用水，清洗用水的水質(zhì)必須達(dá)到一定的電阻率才能保證清洗干凈，不會(huì)留下殘留物，所以微電子元件對(duì)清洗用水的水質(zhì)要求非常嚴(yán)格。原水箱→泵.html'>增壓泵→石英砂過(guò)濾器.html'>過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→阻垢劑→一級(jí)反滲透主機(jī)→一級(jí)純水箱→二級(jí)反滲透主機(jī)→二級(jí)純水箱→增壓泵→紫外線(xiàn)殺菌器→膜濾器→edi系統(tǒng)→toc脫除器+脫氣膜+拋光混床→終端膜濾器由以上過(guò)程可以看出，超純水制備系統(tǒng)是多種設(shè)備的組合，其中，反滲透設(shè)備承擔(dān)了工藝中主要的脫鹽任務(wù)，并對(duì)系統(tǒng)的運(yùn)行狀況進(jìn)行了有效的判斷，本設(shè)備主要采用反滲透原理，在去除水中溶解鹽的同時(shí)，去除一些大分子，預(yù)處理未去除的小顆粒等。反滲透設(shè)備有下列優(yōu)點(diǎn)：1、在線(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。隨時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備運(yùn)行，保證設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)。2、脫鹽率高，使用壽命長(zhǎng)，運(yùn)行成本低。3、全自動(dòng)程序控制，還可以配備觸摸屏，操作簡(jiǎn)單方便。反滲透設(shè)備在電子元件清洗用水中的應(yīng)用不但能提高產(chǎn)水品質(zhì)，降低生產(chǎn)成本，還可以防止環(huán)境污染，有力地推動(dòng)了電子行業(yè)的進(jìn)步，也推動(dòng)了超純水制造技術(shù)的發(fā)展。
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