干式螺桿泵.html'>真空泵主要采用一對螺桿,其特點是兩個螺桿經過精細動平衡校正后安裝在泵殼內,由軸承支撐,螺桿之間有一定間隙。因此,干式螺桿真空泵在工作時,兩者之間沒有摩擦,運行穩(wěn)定,噪音低,工作腔不需要潤滑油。干式螺桿泵可在含有大量水蒸氣和少量灰塵的場合泵出氣體,極端真空度較高。然而,我國使用的螺桿泵主要依靠進口,價格昂貴。
干式螺桿真空泵是一種抽氣裝置,它利用一對螺桿在泵殼內同步高速反向旋轉,產生吸入和排出。它的優(yōu)點彌補了油封真空泵的缺點。我們都稱之為油封真空泵的升級版。但干式螺桿真空泵的成本也是其不足之處。接下來,我們將主要介紹其優(yōu)缺點:
1、工作室和螺桿轉子表面均涂有防腐涂層,可適應惡劣的工作條件
2、泵內氣體未被壓縮,因此適合抽取可凝氣體
3、無油耗、無滴水
4、結構簡單,維護方便。
5、泵送氣體直接從泵體排出,不污染水,無環(huán)境壓力,更便于氣體回收。
干式螺桿真空泵的缺點
1、由于螺桿泵加工難度大,我國使用的螺桿泵主要依靠進口,價格昂貴。
2、不適合抽出爆炸性氣體。
3、不適合抽出含氧量高的氣體。
隨著我國工業(yè)的發(fā)展,在半導體工業(yè)、液晶顯示器等工藝制造業(yè)中,對清潔真空環(huán)境的要求越來越高,而傳統(tǒng)的油真空泵已不能滿足這種要求。螺桿式干式真空泵以其泵速范圍寬、結構簡單緊湊、泵室部件無摩擦、使用壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點,受到越來越多制造和應用單位的重視。在干式真空泵市場占有重要地位。在歐美、日本等發(fā)達國家,螺桿式干式真空泵在許多領域日益取代傳統(tǒng)的油泵。