1.羅茨真空泵與水環(huán)真空泵區(qū)別

（1）性能特點不同

羅茨真空泵的特點是：啟動快，耗功少，運轉維護費用低，抽速大、效率高，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感；水環(huán)真空泵結構緊湊，泵的轉速較高，一般可與電動機直聯(lián)，無須減速裝置。吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。

（2）應用范圍不同

羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制，以及化工、食品、醫(yī)藥工業(yè)中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面。水環(huán)真空泵主要應用于煤礦(抽瓦斯)，化工，制藥，礦山，造紙，食品，啤酒，建材，塑料，冶金，電器等行業(yè)。

（3）工作原理不同

羅茨真空泵泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的葉形轉子，轉子間、轉子與泵殼內壁間有細小間隙而互不接觸的一種變容真空泵。水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變容式真空泵。

（4）結構特點

羅茨真空泵結構特點

在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩(wěn)；

轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現(xiàn)較高轉速;

泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;

泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差;

轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

水環(huán)真空泵結構特點

水環(huán)真空泵結構簡單，制造精度要求不高，容易加工。結構緊湊，泵的轉速較高，一般可與電動機直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。

轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。

2.羅茨真空泵和干式螺桿真空泵的區(qū)別

羅茨真空泵和干式螺桿真空泵相似的地方主要體現(xiàn)在應用領域上，它們都可以用在真空凍干、電力電子行業(yè)、光伏太陽能、薄膜蒸發(fā)、抽高溫氣體、抽蒸汽、單晶硅、燈泡燈管制造（氣體置換）、焊接爐、核能工業(yè)、化工、金屬工業(yè)等工業(yè)領域中。

但是，由于這兩種真空泵的結構和特點有很大的區(qū)別，因此在這些領域中，需要根據(jù)具體的工況和所應用的工藝流程的不同，來選擇使用羅茨泵或者是干式螺桿真空泵。

羅茨真空泵羅茨泵是靠泵腔內一對葉形轉子同步、反向旋轉的推壓作用來移動氣體而實現(xiàn)抽氣的真空泵。羅茨泵無內壓縮，因此它不可以單獨抽氣，需配備前級泵使用。

羅茨真空泵的特點：啟動快，能耗少，低運行和低維護成本，抽速大、效率高，并且對泵送氣體中含有的少量水蒸氣和灰塵不敏感。

圖1 羅茨真空泵

干式螺桿泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無摩擦，無需潤滑油。

干式螺桿泵的特點：噪音低，抽速大；不會發(fā)生腐蝕；能抽除含有大量水蒸氣及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能、免維修等特點。

圖2 螺桿真空泵

基于干式螺桿真空泵的這些特點，其在半導體、鋰電池行業(yè)被廣泛使用，特別適合應用在需抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物和有毒氣體的環(huán)境。

而羅茨真空泵在真空冶金、化工、食品和醫(yī)藥工業(yè)中的真空蒸餾、真空濃縮、真空干燥等方面，扮演著重要角色。這兩種真空泵除了在應用領域上有所側重外，它們的區(qū)別還表現(xiàn)在，羅茨真空泵可抽取少量水蒸氣，而干式螺桿真空泵不僅能抽取大量水蒸氣，對粉塵顆粒物的敏感度也更低。

3.水環(huán)真空泵和干式螺桿真空泵的區(qū)別

與水環(huán)真空泵對比：

（1）螺桿真空泵極限真空度高，單泵可由大氣壓直接抽至1pa（絕壓）的真空度，安裝簡單方便，連接管道少，泄漏點少；而水環(huán)泵的極限真空度只能達到2000pa，需要獲得更高的真空，必須與多級羅茨式真空泵或多級蒸汽噴射泵串聯(lián)才能實現(xiàn)，結構復雜，連接泄漏點多，容易產生故障。

（2）干式螺桿真空泵長時間運轉穩(wěn)定，不受水溫及抽出溶劑的影響；水環(huán)泵在長時間運行時，由于水溫升高，會造成真空度下降，為了保持水環(huán)泵的真空穩(wěn)定，需要用冷凍鹽水來冷卻水環(huán)泵的水箱，造成能耗增大。另外，從系統(tǒng)中抽出而未能冷凝的低沸溶劑進到水環(huán)泵的水體中，也會使水環(huán)泵的真空度下降。

（3）由于干式螺桿式真空泵工作腔內無任何介質，可獲得清潔真空。因此，在螺桿泵的排氣端可設置常壓下的冷凝器，對真空條件下未能冷凝的溶劑進行進一步的冷凝回收，使溶劑回收率大幅度提高。

以甲苯為例，在1mmhg真空條件下，甲苯的冷凝溫度為0℃，我們要在真空端冷凝甲苯，就必須使用-15 ℃以下的冷媒，由于換熱溫差小，需要很大冷凝換熱面積才能有效冷凝回收甲苯，而甲苯在常壓下，冷凝溫度為110 ℃，我們只需要使用循環(huán)水和較小的冷凝換熱面積就可有效冷凝回收甲苯，溶劑回收率一般都可提高到96%以上。

而對于水環(huán)泵由于未冷凝溶劑直接混入水里，無法進行常壓條件的冷凝回收，因此溶劑回收率低，且產生大量廢水。對于低沸溶劑，如甲醇、二氯甲烷等，在真空條件下，冷凝溫度很低，很難用-15 ℃冷鹽水來冷凝，回收率會更低，只能讓大部分低沸溶劑進入水里，產生廢水。

（4）干式螺桿泵只需要少量循環(huán)冷卻水，運行費用低。而對于水環(huán)泵，由于不斷有溶劑進入水箱內，就需要定期或連續(xù)對水箱換水，以保持泵運行的真空度，需要消耗大量的水，對于水費不斷上漲的情況下，水環(huán)泵的運行費用是較大的，盡管干式螺桿泵的設備價格比水環(huán)泵高，但就長期運行使用來看，其費用更低，更經濟環(huán)保。

（5）對于化工生產的安全和產品質量來看，干式螺桿真空泵也有其優(yōu)點。我們使用的真空體系中往往有許多物料要與水發(fā)生反應，甚至產生分解爆炸的危險，水環(huán)泵存在突然停泵時，水倒吸回真空系統(tǒng)的風險，容易產生安全風險，或對產品質量產生污染；而干式螺桿泵無水無油，即使倒吸也不會產生危險或污染，對安全和質量保障更為有利。

（6）防腐蝕性能。干式螺桿真空泵過流部件可采用鍍鎳處理，能耐受大部分有機酸氣和無機酸氣的腐蝕，在抽取甲苯含鹽酸氣的蒸餾體系中已成功運用。而水環(huán)泵由于不便進行防腐處理，一般不能使用于酸性體系。

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